立式真空電阻爐
立式真空電阻爐由主體反應(yīng)爐(帶冷凝收集器)、機(jī)械真空泵及測量、電控柜及相關(guān)聯(lián)接組成。
主體反應(yīng)爐采用石墨發(fā)熱體加熱,鉑銠熱電偶測溫,精密程序控溫儀+可控硅+變壓器控溫,Z高溫度達(dá)1600℃,控溫精度為±1℃;主體反應(yīng)爐同時帶冷凝收集器,外殼具水冷功能。
設(shè)備外殼為不銹鋼,整個系統(tǒng)為真空密封,空爐冷態(tài)真空度達(dá)10Pa以內(nèi),數(shù)顯真空測量范圍102~10-1Pa。
主要技術(shù)參數(shù)如下:
1、溫度:1000℃、1200℃、1400℃、1600℃、2000℃;
2、真空度:-0.1Mpa、6.67×10-2Pa;
3、形式:立式頂開蓋;
4、加熱方式:內(nèi)熱式;
5、觀察孔。
立式 真空熱處理 真空電阻爐 真空試驗